◈ 超高分辨率：通过创新开发的光学放大物镜耦合探测器技术，推动系统分辨率达到亚微米级别（100-1000nm）

◈ 配备高精度光栅尺，确保元器件之间位置准确度和线性移动精度，以及长期的稳定性

ACT-2100是工源三仟科技针对半导体先进封装技术、以及科研环境专项开发的超高分辨率显微CT设备。通过全自研的光学放大物镜耦合探测器，最高可将系统分辨率提升至达0.4μm(400nm)，从而实现对2.5D/3D封装、内存等产品上纳米级别缺陷的检测。此外，该设备亦可用于医学、药学、生物、考古、材料、电子、地质学等领域的研究。

◈ 半导体：检测芯片封装中纳米级的焊接空洞、分层或布线缺陷等

◈ 医学/药学/生物：观察药物颗粒的内部结构、载药系统的分布、骨细胞陷窝、毛细血管网络细节、特定细胞器﹙结合染色或标记）等

◈ 考古：观测化石中保存的纳米级软组织痕迹、文物内部极其细微的工艺特征或腐蚀等

◈ 材料：分析纳米复合材料的结构、检测亚微米级的孔隙或裂纹（对高性能材料、增材制造件至关重要）、表征纳米颗粒等

◈ 地质学：测量样品中纳米级孔隙（对页岩气、致密油储层的评价极其关键），研究微裂缝网络等

类别	项目	参数
成像系统	系统极限分辨率	400nm
	成像方式	2D&3D
	软件	工源三仟自研CT软件（可根据不同需求定制）Volume Graphic（选配）
射线源	Tube类型	开管透射式纳焦点
	Tube电压	160kV/190kV/225kV/240kV/300kV
探测器	探测器类型	平板探测器
	像素尺寸	99μm
	像素矩阵	3072*3072
运动控制系统	最大扫描范围	ø300*300mm（可根据不同需求定制）
	最大样品重量	20KG
整机参数	尺寸	L:2000mm W:1500mm H:1800mm(不含三色灯，以实际设计为准)
	重量	约5000KG
	功率	约10kW 以实际设计为准
光耦合探测器 (拓展)	倍数	4倍、10倍、20倍光学镜头